項目描述:
北京大學東莞光電研究院搭建的一套GaN單晶襯底制備的HVPE外延設備，
需要的控制系統包括：1.壓力控制系統；2.溫度控制系統；3.監(jiān)控報警系統；4.曲線采集/歷史曲線分析；5. 數據導入/導出/存儲。
逸維產品包括半導體、汽車新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)保與3C生產線控制系統。
技術要求與難點
4溫區(qū)獨立控溫
18路質量流量計控制
溫度控制要求：升降溫要穩(wěn)定，在設定的時間內達到設定溫度；溫度波動需要<2度；恒溫控制需要在<0.5度
壓力控制要求：腔內壓力控制精度要<1torr，需要帶有自動保護功能。
流量計控制：具有實時數據巡檢功能，流量計開啟順序可自定義設定功能。
逸維產品包括半導體、汽車新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)保與3C生產線控制系統。
專項定制
逸維產品包括半導體、汽車新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)保與3C生產線控制系統。
